低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
去除污染物的基本过程
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化 O2+e→2O-
过程三：OH自由基的氧化 H2O+e→OH+H H2O+O→2OH H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反应
低温等离子废气处理设备技术优势:
1.介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，可达到常用等离子技术（电晕放电）的1500倍，几乎可以击碎所有有机废气的分子链。
2.技术反应速度快，气体通过反应区的流速达到3-15米/秒，也可达到很好的处理效果。
3.自动化程度高，设备启动、停止十分迅速、随用随开，对于部分不连续产生废气的收集点，可以循环启停节约成本。
